制冷無油真空泵主要由機械傳動部分、機械抽氣部分和隔油部分組成，機械傳動部分分為曲柄和連桿機構，由電動機帶動皮帶輪，然后通過曲軸、連桿、十字頭傳遞給活塞，由皮帶輪的圓周運動變為活塞的直線運動。真空泵機械抽氣部分主要依靠活塞在汽缸內的往復運動來完成。氣缸內的活塞上有活塞環，保證被活塞間隔開的氣缸兩端氣密封性。真空泵活塞在氣缸內做往復運動時，不斷的改變氣缸兩端的容積，一端容積擴大吸入氣體，另一端容積縮小排出氣體。活塞與氣閥的聯合作用，周期地完成 吸氣和排氣作用。隔油腔及充氣腔將機械傳動部分與氣體流通部分隔開，以防止油漏入、或帶入氣缸內。當要求抽吸氣回收時，充氣腔內可充入該種氣體。以防止空氣漏入氣缸內而影響氣體純度。（制冷無油真空泵