無油真空泵使工作容積中無油，因此帶來了不少益處。先，它增強了泵的可靠性。干式泵不像油密封泵那樣受到水蒸氣或者塵粒的影響，因此它們更，所需的維護工作更少。減少用油量還意味著減少了認真處理油而花費的成本。使用無油真空泵還使可能的污染減到程度，這種污染既可能出現在油里——影響了泵的性能，也可能出現在某些的情況下，例如在終產品中。
    要想成功地更換現有的基于油的無油真空泵系統，關鍵是要找到針對特定應用的合適的解決方案。為了看一下可以受益的不同類型的應用，下面介紹四種不同的工業生產過程，以及它們使用無油真空泵的主要好處有哪些。
     金屬噴鍍覆膜是滾動噴涂行業中一種沿用已久的加工過程，它在真空環境下使用熱蒸發技術。一層薄薄的金屬層（常見的是鋁）附著在紙張、聚乙烯（PE）或其他高分子膜上，從而形成一種堅固、漂亮的包裝材料，它們能防潮、防灰、隔離光線。這是適合于食品應用領域的理想材料，因為它使產品保持新鮮，延長保存期限。該加工過程也日益被用于生產裝飾紙、禮品包裝紙和薄膜。