無油真空泵的真空在放置一對電極時，如果加上高壓時，在的電壓下也會產生電極之間的電擊穿。它的擊穿與空氣中的電擊穿有很大不同。空氣中的擊穿是由于氣體中的少量自由電子在電場作用下高速度運動，與氣體分子碰撞產生較多的電子和離子，新生的電子和離子又同中性原子碰撞，產生更多的電子和離子。這種雪崩式的電離過程，在電極間形成了放電通道，產生了電弧。而真空中，由于壓強較低，氣體分子極少，在這樣的環境中，即使電極間隙中存在著電子，它們從一個電極飛向另一個電極時，也很少有機會與氣體分子碰撞。因而不可能有電子和氣體分子碰撞造成雪崩式的電擊穿。正是因為氣體分子十分少有，真空間隙電擊穿需要在非常高的電壓下出現場致發射等其它現象時才有可能形成。從理論上推測，電場強度需達到108V/cm以上時才會造成電擊穿，實際上真空間隙的絕緣強度由于一系列不利因素例如電極表面粗糙度、潔凈度等的影響，將低于理論計算值幾個數量級。

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