一般，在相對濕度較高，或被抽氣體內含較多可凝性蒸汽，旋片式真空泵在被接通抽容器后，需要直接打開氣鎮閥，運轉20～40分鐘后關閉氣鎮閥。并且，在停泵前，可開氣鎮閥空載運動30分鐘，以延長旋片式真空泵泵油壽命。同時，選擇用油也是非常重要的，先泵油的粘度會直接影響泵的起動功率和泵的jixian真空，粘度高時對真空度有利，起動功率則大一些。油在泵溫下的飽和蒸汽壓則會影響泵的jixian總壓強，越低越好。高速真空泵油和3號擴散泵油的粘度較1號真空泵油大，飽和蒸汽壓較1號真空泵油低，但3號擴散泵油價格較高。具體選什么油，可根據上述介紹結合具體使用要求來選擇。