如果氣體中含有蒸汽、顆粒及腐蝕性氣體，我們應該考慮在無油真空泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。無油真空泵的價格、運轉及維修費用。在使用許可的情況之下，應盡量選用價廉物美的無油真空泵。其次，我們在使用無油真空泵的過程中，還要檢查他中心體的密封零件狀況，因為遭到了嚴重磨損，就達不到很好的密封效果，這時空氣會從空氣出口端排掉。還有，要檢查隔膜泵空氣閥是否卡住，如果卡住的話，就需要用清潔液清洗空氣閥。