在隔膜無油真空泵內注入干凈液體，將管路及泵體內的殘留物清洗干凈，注意清洗背板與膜片。膜片需要定期拆卸清洗，或更換至新的膜片。根據泵的使用情況和制造商的推薦，定期更換潤滑油，確保潤滑油清潔，避免雜質的混入。根據實際情況調整潤滑油的油量，確保泵的順暢運行。定期檢查泵的所有緊固件，如螺栓、螺母等，確保它們緊固且無松動。如有需要，立即更換松動的緊固件，防止造成設備損壞。對于接觸腐蝕性介質的隔膜真空泵，應定期檢查和更換耐腐蝕材料制成的部件，如隔膜、密封件等。確保所接觸的介質符合泵的承受范圍，避兔對泵造成過大的腐蝕和損害。在泵運行過程中，密切關注其運行狀態，并記錄泵的運行數據，以便進行故障分析和性維護。為確保隔膜真空泵的正常運行，應儲備一些常用備件，如隔膜、密封件等。給無油隔膜真空泵進行保養時應視乎實驗量而定。通常建議在設備連續工作30000-40000小時后進行潤滑油的更換、密封膠圈更換等保養工作。對于經常使用隔膜泵的實驗室，建議至少每年進行一次保養，以確保設備正常運轉。
總的來說，為了保持隔膜無油真空泵的長期穩定運行，需要定期進行清洗、檢查、更換潤滑油和緊固件，并注意防止腐蝕和運行監控。同時，儲備常用備件和按照實驗量確定保養周期也是非常重要的。